全刚性封装耐高温光纤法珀腔加速度传感器及其装配方法
摘要:
本发明属于传感技术领域,公开了一种全刚性封装耐高温光纤法珀腔加速度传感器及其装配方法,包括封装底座,封装底座一端设置有安装孔,另一端端面设置有第一沉槽,膜片盖板与封装底座另一端固定连接进而夹紧固定在封装底座与膜片盖板之间的敏感膜片;且膜片盖板靠近封装底座的一端设置有第二沉槽;封装套管设置在膜片盖板外周,并与封装底座固定连接,用于封闭膜片盖板与封装底座的连接处;膜片盖板中心设置有中心通孔,空心刚玉管设置在中心通孔内,光纤的一端固定设置在空心刚玉管内,并位于第二沉槽底面,与敏感膜片形成法布里‑珀罗谐振腔。本发明可以对敏感单元进行有效保护和固定,并可以保证特殊条件下的测量精度。
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