公开(公告)号：CN117538563B

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202311547155.2

申请日：2023-11-20

申请人： 中北大学

发明人： 白建东 ,  薛晨阳 ,  郑永秋 ,  曹盛洁 ,  高晓宇 ,  柴皓严

IPC分类号： G01P15/097 ,  G01D5/353

摘要： 本发明属于传感技术领域，公开了一种全刚性封装耐高温光纤法珀腔加速度传感器及其装配方法，包括封装底座，封装底座一端设置有安装孔，另一端端面设置有第一沉槽，膜片盖板与封装底座另一端固定连接进而夹紧固定在封装底座与膜片盖板之间的敏感膜片；且膜片盖板靠近封装底座的一端设置有第二沉槽；封装套管设置在膜片盖板外周，并与封装底座固定连接，用于封闭膜片盖板与封装底座的连接处；膜片盖板中心设置有中心通孔，空心刚玉管设置在中心通孔内，光纤的一端固定设置在空心刚玉管内，并位于第二沉槽底面，与敏感膜片形成法布里‑珀罗谐振腔。本发明可以对敏感单元进行有效保护和固定，并可以保证特殊条件下的测量精度。

公开(公告)号：CN118518193A

公开(公告)日：2024-08-20

申请号：CN202410598874.5

申请日：2024-05-15

申请人： 中北大学

发明人： 白建东 ,  柴皓严 ,  郑永秋 ,  陈佳敏 ,  薛晨阳

IPC分类号： G01H9/00

摘要： 本发明属于高温传感技术领域，具体涉及一种基于双谐振腔的耐高温光纤声振集成传感器及其制备方法，包括依次设置的基底层、敏感层、刻槽层；所述敏感层一端刻蚀有通孔以形成悬臂梁‑质量块结构的敏感膜片，所述基底层和刻槽层上与所述敏感膜片对应位置分别设置有第一沉槽和第二沉槽；所述刻槽层上与所述敏感膜片中心对应位置设置有第一光纤；所述第一光纤端面与所述敏感膜片形成第一谐振腔；所述刻槽层上设置有贯穿至刻槽层两侧的贯穿槽，所述刻槽层上与所述贯穿槽中心对应设置有第二光纤；所述第二光纤与所述敏感层形成第二谐振腔。本发明实现了对噪声和振动信号的同步监测，结构简单，尺寸小、测量精度高，可以应用于高温环境。

公开(公告)号：CN117538563A

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN202311547155.2

申请日：2023-11-20

申请人： 中北大学

发明人： 白建东 ,  薛晨阳 ,  郑永秋 ,  曹盛洁 ,  高晓宇 ,  柴皓严

IPC分类号： G01P15/097 ,  G01D5/353

摘要： 本发明属于传感技术领域，公开了一种全刚性封装耐高温光纤法珀腔加速度传感器及其装配方法，包括封装底座，封装底座一端设置有安装孔，另一端端面设置有第一沉槽，膜片盖板与封装底座另一端固定连接进而夹紧固定在封装底座与膜片盖板之间的敏感膜片；且膜片盖板靠近封装底座的一端设置有第二沉槽；封装套管设置在膜片盖板外周，并与封装底座固定连接，用于封闭膜片盖板与封装底座的连接处；膜片盖板中心设置有中心通孔，空心刚玉管设置在中心通孔内，光纤的一端固定设置在空心刚玉管内，并位于第二沉槽底面，与敏感膜片形成法布里‑珀罗谐振腔。本发明可以对敏感单元进行有效保护和固定，并可以保证特殊条件下的测量精度。