本发明公开了一种体声波谐振器及其制备方法。其中，该体声波谐振器包括：包括衬底、换能器堆叠结构和保护层，换能器堆叠结构位于衬底一侧；衬底中设置有空腔，空腔贯穿部分衬底；换能器堆叠结构中设置有释放通道，释放通道贯穿换能器堆叠结构且与空腔连通；保护层设置在换能器堆叠结构远离衬底一侧的表面，保护层包括防水材料。本发明的技术方案，本发明的技术方案，在体声波谐振器中设置具有防水材料的保护层，并使得保护层设置在换能器堆叠结构的表面，隔离激励电极、压电层与空气中的水汽，保护换能器堆叠结构免于受水汽的影响，提高了体声波谐振器的可靠性。