本发明涉及激光加工技术领域，并提供一种纳皮秒双脉冲激光刻蚀与抛光复合加工装置，纳皮秒双脉冲激光刻蚀与抛光复合加工装置，包括脉冲序列调制器、皮秒激光器、皮秒激光偏振调整系统、皮秒激光反射镜组、纳秒激光器、纳秒激光偏振调整系统、偏振合光镜、光路切换系统、光路调整系统和工作台，皮秒激光器和纳秒激光器分别与脉冲序列调制器电连接；皮秒激光器、皮秒激光偏振调整系统和皮秒激光反射镜组沿皮秒激光脉冲光束方向排列设置，皮秒激光反射镜组与所述偏振合光镜相对设置；偏振合光镜、光路切换系统和光路调整系统沿偏振合光镜输出的综合激光光束方向排列设置；本发明可实现不同材料的高质量和高精度的加工作业。