本发明提供了一种飞秒脉冲激光分步点烧蚀抛光方法及应用，飞秒激光以单点烧蚀的方式抛光材料，其加工的所有的烧蚀孔的直径一致，所有的烧蚀孔沿着X方向和Y方向依次排列，且所有相邻烧蚀孔的距离相等；烧蚀孔为分步去除，相邻两个烧蚀孔具有设定的加工时间间隔，当进行第二步抛光时，前一步的烧蚀孔已经完全冷却。同时，在X方向同一水平位置的多个烧蚀孔组成一行烧蚀区域，整个抛光区域包括多行烧蚀区域，每行烧蚀区域的加工方式均保持一致。本发明的抛光方法可以对单晶硅、金刚石、碳化硅、硬质合金等用于超精密加工、表面质量要求高的材料进行抛光加工。