本发明涉及晶圆输送技术领域，特别涉及一种立式炉加工晶圆自动传送设备，包括传送模块，所述传送模块上左右对称可拆卸安装有两个圆环板。采用现有的方法对多个晶圆进行输送时，通常需要先准备好输送设备、载具和清理工作区域，然后将晶圆放置在合适的载具上，再将载有晶圆的载具放置在输送设备上，晶圆到达目标位置后，对其进行相应的处理，步骤简单，但晶圆不易放置在载具上，在晶圆的放置过程中晶圆易与载具发生碰撞。本发明采用的导向装置可以在晶圆放置时对晶圆进行导向，从而避免了晶圆与设备出现磕碰，确保了晶圆放置后的完整性，并且导向装置还扩大了晶圆进入的开口，降低了晶圆放置的难度。