本发明公开了一种用于大口径光学元件检测的新型扫描方法，选取直线电机驱动导轨以及全局曝光探测器，构建扫描装置；根据硬件各项参数，经过计算确定合适的导轨移动速度和探测器的曝光时间，采图需满足图像拼接要求的同时无拖影；确定选取的曝光时间与导轨速度是否满足需求；对待测光学元件，从扫描起始点到扫描终点采用蛇形扫描路径，扫描过程中，直线电机控制导轨以选取的导轨速度进行匀速运动；实时返回导轨位置并与理论值进行对比，达到理论值时发送信号到数据采集单元利用选取的曝光时间进行采图，获得大口径光学元件的子孔径图像。利用本发明，既能满足图像拼接需求，还能大幅缩短扫描时间。