石墨产品的膜层制备方法
摘要:
本申请涉及气相沉积技术领域,具体涉及一种石墨产品的膜层制备方法,解决了在气相沉积过程中,较高的温度会导致石墨的晶格结构发生变化,进而导致石墨产品发生变形的问题。石墨产品的膜层制备方法包括:制备第一石墨产品,所述第一石墨产品具有上表面和下表面;在所述第一石墨产品的上表面制备应力释放槽,得到第二石墨产品;对所述第二石墨产品进行膜层沉积,得到第三石墨产品;对所述第三石墨产品的上表面进行第二材料去除处理,得到第四石墨产品,其中,所述第四石墨产品的上表面不具有所述应力释放槽。通过在第一石墨产品的上表面制备应力释放槽,可以在膜层沉积的过程中,减少应力集中,从而减小第二石墨产品在膜层沉积过程的形变。
公开/授权文献
0/0