本发明公开了一种高精度高效率的光谱共焦位移测量方法，涉及光学测量领域。可以快速完成光谱信息解算的同时解决现有轴向分辨率低的问题。该方法包括：包括：设置彩色感光元件的位深参数，使来自光源组件的入射光通过分光棱镜、色散透镜组被待测物反射为多个第一单色反射光；使第一单色反射光经色散透镜组、分光棱镜、第一针孔形成第二单色反射光并进入所述彩色感光元件，基于所述第二单色反射光形成彩色图像；根据所述彩色图像得到与所述位深参数对应的RGB颜色值，根据所述RGB颜色值和HSI模型的转换关系得到色调参数H值，根据所述色调参数H值得到所述待测物的轴向深度信息。