一种基于二维器件组成的超薄短通道隧穿晶闸管结构
Abstract:
本发明公开了一种基于二维器件组成的超薄短通道隧穿晶闸管结构,属于金属‑半导体技术领域。包括:衬底层结构、半导体模块、绝缘介质层模块、电极模块以及顶层结构;半导体模块位于衬底层结构的上方,且中间有间隙;绝缘介质层模块位于半导体结构的上方的一端;电极模块位于半导体结构的的上方的另一端,且不与绝缘介质层模块连接;顶层结构位于绝缘介质层模块上方;半导体模块采用二维半导体材料;绝缘介质层模块采用电介质材料;电极模块采用二维半金属电极材料和传统金属电极材料;二维半金属电极材料面内原子通过共价键结合,层间采用范德华堆叠。本发明中有助于基于二维半导体的晶闸管结构设计和优化,扩展新型半导体材料应用。
Patent Agency Ranking
0/0