Invention Publication
CN117810047A 热阴极及其制备方法
审中-实审
- Patent Title: 热阴极及其制备方法
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Application No.: CN202311753503.1Application Date: 2023-12-19
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Publication No.: CN117810047APublication Date: 2024-04-02
- Inventor: 刘燕文 , 尚新文 , 李芬 , 田宏 , 赵恒邦 , 王小霞
- Applicant: 中国科学院空天信息创新研究院
- Applicant Address: 北京市海淀区北四环西路19号
- Assignee: 中国科学院空天信息创新研究院
- Current Assignee: 中国科学院空天信息创新研究院
- Current Assignee Address: 北京市海淀区北四环西路19号
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 鄢功军
- Main IPC: H01J1/13
- IPC: H01J1/13 ; H01J9/04
Abstract:
本公开提供了一种热阴极及其制备方法，可以应用于微波真空电子技术领域。该热阴极包括：海绵基体，海绵基体内浸有发射物质；织构层，形成于海绵基体的表面，织构层呈毛刺状，织构层是通过对覆于海绵基体的表面的第一金属膜进行离子束轰击处理得到的；第二金属膜，形成于织构层上。
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