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公开(公告)号：CN112420467B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202011316694.1
申请日：2020-11-20
申请人： 中国科学院空天信息创新研究院
摘要： 本发明提供了一种光电阴极及其制备方法，该光电阴极包括：光电阴极基体，锑碱金属化合物，光电阴极基体的表面为经过离子束轰击表面改性处理后的；锑碱金属化合物，制备在光电阴极基体的表面上。该制备方法包括：在光电阴极基体表面实施离子束轰击表面改性处理，得到离子束轰击表面改性处理后的光电阴极基体；利用第一加热体将离子束轰击表面改性处理后的光电阴极基体加热至预设温度；利用第二加热体加热锑源使锑蒸汽蒸发至离子束轰击表面改性处理后的光电阴极基体的表面，形成锑膜；利用第二加热体加热碱金属源，使碱金属蒸汽蒸发至离子束轰击表面改性处理后的光电阴极基体的表面，与锑膜发生反应，生成锑碱金属化合物，完成光电阴极的制备。
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公开(公告)号：CN113053704B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202110293335.7
申请日：2021-03-18
申请人： 中国科学院空天信息创新研究院
摘要： 一种光电阴极及其制备方法，该光电阴极包括：光电阴极基体，为金属纳米颗粒与锑粉混合压制而成；以及碱金属锑化物膜，形成于所述光电阴极基体的一表面。本发明还提供了该光电阴极的制备方法。本发明的光电阴极基体中的金属纳米颗粒具有很强的吸附作用，因此可以减少碱金属光电阴极中碱金属的蒸发，同时本发明的光电阴极制备方法工艺简单，制备方便。
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公开(公告)号：CN113789456B
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202111095729.8
申请日：2021-09-17
申请人： 中国科学院空天信息创新研究院
摘要： 本公开提供一种钨海绵基体浸铜方法及装置，方法包括：将浸铜装置抽真空至第一真空度，排出空气；充入惰性气体，保持真空度为第二真空度；加热熔融无氧铜，将钨海绵基体浸入液体铜中保持时间T后取出；其中，惰性气体与无氧铜和钨不发生化学反应，第二真空度大于第一真空度，在第二真空度下，液体铜不蒸发。本公开通过先将浸铜装置抽真空，可以排出钨海绵基体孔隙中的空气，然后再向浸铜装置中通入适量氢气，使浸铜装置内部呈现一种低真空状态，以抑制熔融铜的蒸发，最终使得铜液可以均匀地浸入钨海绵基体中，大大减少了因难以浸透钨海绵基体而造成的阴极基体车制过程中出现的孔洞，提高了所制备阴极的性能。
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公开(公告)号：CN115305473A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202210841936.1
申请日：2022-07-18
申请人： 中国科学院空天信息创新研究院
IPC分类号： C23F4/00 , H01J37/305
摘要： 本公开提供了一种适用于真空器件的金属零件处理装置和处理方法，处理装置包括：密封腔室，设置有抽气口；旋转托盘，转动设置在密封腔室内，旋转托盘用于承载待处理的金属零件；电子枪，设置在密封腔室内，电子枪设置在旋转托盘的斜上方，电子枪朝向旋转托盘，电子枪用于发出电子束以对金属零件进行轰击处理；真空泵，与抽气口连接；以及磁场线圈，套设在密封腔室外侧，磁场线圈用于提供磁场以改变电子束的直径。通过旋转托盘能够使得金属零件的各个侧面均匀的被电子束轰击，提高了金属零件的去气效果，降低了金属零件的出气量，配合磁场线圈能够提高电子束的利用率，缩短了去气的时间。
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公开(公告)号：CN115305473B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202210841936.1
申请日：2022-07-18
申请人： 中国科学院空天信息创新研究院
IPC分类号： C23F4/00 , H01J37/305
摘要： 本公开提供了一种适用于真空器件的金属零件处理装置和处理方法，处理装置包括：密封腔室，设置有抽气口；旋转托盘，转动设置在密封腔室内，旋转托盘用于承载待处理的金属零件；电子枪，设置在密封腔室内，电子枪设置在旋转托盘的斜上方，电子枪朝向旋转托盘，电子枪用于发出电子束以对金属零件进行轰击处理；真空泵，与抽气口连接；以及磁场线圈，套设在密封腔室外侧，磁场线圈用于提供磁场以改变电子束的直径。通过旋转托盘能够使得金属零件的各个侧面均匀的被电子束轰击，提高了金属零件的去气效果，降低了金属零件的出气量，配合磁场线圈
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公开(公告)号：CN113005404A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202110202475.9
申请日：2021-02-23
申请人： 中国科学院空天信息创新研究院
摘要： 一种碱金属源的制备装置及制备方法，该碱金属源的制备装置包括：第一金属筒，具有沿轴向贯穿的内腔；隔离结构，将所述第一金属筒的内腔分隔成第一容纳空间和第二容纳空间；金属海绵体，位于所述第一容纳空间中，在所述金属海绵体和隔离结构之间形成用于放置碱金属原材料的子容纳空间；热子，位于所述第二容纳空间中。本发明还提供了利用该制备装置制备碱金属源的方法和该制备装置的制备方法。本发明实现了碱金属源的蒸发速率及蒸发方向可控。
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公开(公告)号：CN112420467A
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN202011316694.1
申请日：2020-11-20
申请人： 中国科学院空天信息创新研究院
摘要： 本发明提供了一种光电阴极及其制备方法，该光电阴极包括：光电阴极基体，锑碱金属化合物，光电阴极基体的表面为经过离子束轰击表面改性处理后的；锑碱金属化合物，制备在光电阴极基体的表面上。该制备方法包括：在光电阴极基体表面实施离子束轰击表面改性处理，得到离子束轰击表面改性处理后的光电阴极基体；利用第一加热体将离子束轰击表面改性处理后的光电阴极基体加热至预设温度；利用第二加热体加热锑源使锑蒸汽蒸发至离子束轰击表面改性处理后的光电阴极基体的表面，形成锑膜；利用第二加热体加热碱金属源，使碱金属蒸汽蒸发至离子束轰击表面改性处理后的光电阴极基体的表面，与锑膜发生反应，生成锑碱金属化合物，完成光电阴极的制备。
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公开(公告)号：CN114464510A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202210244982.3
申请日：2022-03-14
申请人： 中国科学院空天信息创新研究院
摘要： 本发明公开了一种光电阴极，包括：第一金属筒；第一金属海绵体，置于第一金属筒内壁上；第二金属筒，置于第一金属海绵体内，第一金属海绵体与第一金属筒和第二金属筒焊接；锑金属源，放置在第二金属筒内；第三金属筒，设置在第一金属筒内，第三金属筒的开口与第二金属筒的开口彼此远离，第三金属筒的底部与第二金属筒的底部形成内部空间，且与第一金属筒在接触点处焊接；铯金属源，置于内部空间内；加热体，置于第三金属筒内；以及第二金属海绵体，作为光电阴极基体，置于锑金属源上；利用扩散到光电阴极基体表面的锑膜，与加热铯金属源形成的铯金属蒸气在光电阴极基体上反应，制成锑铯光电阴极。本发明还公开了一种上述的光电阴极的制备方法。
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