发明授权
- 专利标题: 一种环氧树脂粘接设备及工艺
-
申请号: CN202410225126.2申请日: 2024-02-29
-
公开(公告)号: CN117810103B公开(公告)日: 2024-05-07
- 发明人: 马轶博 , 刘红雨 , 崔海龙 , 侯一雪 , 段晋胜 , 田志峰 , 丁宇心
- 申请人: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
- 申请人地址: 山西省太原市万柏林区和平南路115号
- 专利权人: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
- 当前专利权人: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
- 当前专利权人地址: 山西省太原市万柏林区和平南路115号
- 代理机构: 太原科卫专利事务所
- 代理商 郭晓丽
- 主分类号: H01L21/60
- IPC分类号: H01L21/60 ; H01L21/677
摘要:
本发明涉及用于紧固、连接、粘接的工具或设备技术领域,尤其涉及一种环氧树脂粘接设备及工艺,解决现有环氧树脂粘接设备存在芯片贴装效率低、精度差,无法实现多种芯片粘接的技术问题,其包括基板上料系统、基板传输系统、基板点胶系统、芯片粘接系统、芯片上料系统、基板下料系统、视觉识别定位系统以及总控制系统。本发明中基板点胶系统和芯片粘接系统能并行工作,使点胶和贴片这两个功能相不干扰,提高了设备的生产效率;本发明中环氧树脂喷涂机械手和芯片粘接机械手运行精确稳定,受外界环境的影响降低;本发明采用华夫盒和晶圆料仓两种上料方式,还设置了多种型号的芯片吸嘴以及芯片,能够实现多种芯片贴装功能。
公开/授权文献
- CN117810103A 一种环氧树脂粘接设备及工艺 公开/授权日:2024-04-02
IPC分类: