发明授权
- 专利标题: 一种翻转塔机构及芯片拾取方法
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申请号: CN202311862450.7申请日: 2023-12-29
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公开(公告)号: CN117810154B公开(公告)日: 2024-09-03
- 发明人: 徐鹏辉 , 孙斌
- 申请人: 中科长光精拓智能装备(苏州)有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市昆山市玉山镇新城南路515号10号厂房
- 专利权人: 中科长光精拓智能装备(苏州)有限公司
- 当前专利权人: 中科长光精拓智能装备(苏州)有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市昆山市玉山镇新城南路515号10号厂房
- 代理机构: 长春中科长光知识产权代理事务所
- 代理商 孙艳辉
- 主分类号: H01L21/683
- IPC分类号: H01L21/683 ; H01L21/687
摘要:
本发明涉及芯片拾取技术领域,具体提供一种翻转塔机构及芯片拾取方法,包括:机械手、顶针机构、X向驱动、Y向驱动和视觉校正系统,机械手设于顶针机构的上方,机械手上设置有多个可转动切换的执行器吸嘴,用于拾取芯片并放置在顶针机构上;视觉校正系统包括X向光源、Y向光源、X向棱镜、Y向棱镜和视觉传感器。相比于传统机械手,本发明配备了X向驱动和Y向驱动以及视觉校正系统,通过视觉校正系统获取机械手上每个执行器吸嘴的X向偏移量和Y向偏移量,并通过X向驱动和Y向驱动对每个执行器吸嘴进行单独的位置校正,从而将低了因为零件的加工组装误差和执行器更换吸嘴后产生的误差,大大提高了芯片拾取的精度。
公开/授权文献
- CN117810154A 一种翻转塔机构及芯片拾取方法 公开/授权日:2024-04-02
IPC分类: