发明公开
- 专利标题： 应用于晶圆预对准的数据采集方法、装置、设备和介质
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申请号： CN202311869270.1申请日： 2023-12-31
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公开(公告)号： CN117812479A公开(公告)日： 2024-04-02
- 发明人: 朱玉东 , 何海龙 , 王静 , 洪烨
- 申请人： 中科芯微智能装备(沈阳)有限公司
- 申请人地址： 辽宁省沈阳市经济技术开发区十三号路77-38-B号
- 专利权人： 中科芯微智能装备(沈阳)有限公司
- 当前专利权人： 中科芯微智能装备(沈阳)有限公司
- 当前专利权人地址： 辽宁省沈阳市经济技术开发区十三号路77-38-B号
- 代理机构： 上海恒锐佳知识产权代理事务所
- 代理商 黄海霞
- 主分类号： H04N25/71
- IPC分类号： H04N25/71 ; H01L21/68 ; H01L21/67 ; H04N25/713 ; H04N25/708
摘要：
本发明提供一种应用于晶圆预对准的数据采集方法、装置、设备和介质，该方法包括：S1，获取晶圆触发的第一脉冲信号；S2，当获取到上位机输出的开始采集指令时，开始对所述第一脉冲信号做分频处理，以获得第二脉冲信号；S3，以所述第二脉冲信号作为触发信号，采集图像传感器输出的模拟量数值；所述模拟量数值对应图像传感器被晶圆遮挡的感光区域尺寸。该方法用于提升晶圆对准的准确性。
