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公开(公告)号：CN118260140A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202410360356.X
申请日：2024-03-27
申请人： 中科芯微智能装备(沈阳)有限公司
IPC分类号： G06F11/22
摘要： 本发明提供了一种半导体设备的测试报告辅助生成系统、方法、介质和设备，该系统包括用户权限管理模块，用于接收软件管理员的指令，根据所述软件管理员的指令为已录入数据库的操作人员分配对应的操作权限；测试模板生成模块，用于接收测试人员和质检人员的配置指令，根据所述配置指令生成与不同半导体设备的测试项目对应的产品测试模板；测试报告生成模块，用于接收测试人员和质检人员在半导体设备测试过程中对产品测试模板的录入操作，根据所述录入操作生成当前测试项目对应的产品测试结果。该系统用于辅助测试人员记录和管理半导体设备的测试数据，提升工作效率。
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公开(公告)号：CN118131724A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410192374.1
申请日：2024-02-21
申请人： 中科芯微智能装备(沈阳)有限公司
摘要： 本发明提供一种测试电路及测试系统，用于对自动控制模块进行测试，其包括供电模块、测控模块和插接模块；供电模块用于对测控模块和插接模块进行直流供电；测控模块用于提供测试信号；插接模块用于与自动控制模块对接，以根据测试信号对自动控制模块进行测试。通过插接模块能够实现与各类自动控制模块的电性连接，并通过测控模块提供的测试信号实现对自动控制模块的测试，由于插接模块能够适应于各类自动控制模块，同时测试信号可以根据不同的自动控制模块进行调整设置，使得测试电路可以满足各类自动控制模块的测试，提高了测试电路的通用性，解决了如何提供一种通用性强的测试电路系统以降低测试自动控制模块的成本的问题。
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公开(公告)号：CN117260797A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311445898.9
申请日：2023-10-31
申请人： 中科芯微智能装备(沈阳)有限公司
IPC分类号： B25J17/00
摘要： 本发明提供了一种传片机械手关节组件，包括第一活动部和第二活动部，第一活动部和第二活动部转动连接，回转限位结构包括长行程弧形滑道、短行程弧形滑道和滚珠；长行程弧形滑道设置在第一活动部上，短行程弧形滑道设置在第二活动部上，长行程弧形滑道和短行程弧形滑道开口相对，滚珠置于长行程弧形滑道中，并沿长行程弧形滑道和短行程弧形滑道滚动；长行程弧形滑道对应的圆心角和短行程弧形滑道对应的圆心角之和大于360度；第二活动部受力相对于第一活动部旋转第一角度后，短行程弧形滑道的端部和长行程弧形滑道的端部均与滚珠抵接，使第二活动部相对于第一活动部停止旋转。本发明的传片机械手关节组件可以做到机械手的回转方向无死区。
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公开(公告)号：CN118952179A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411178755.0
申请日：2024-08-27
申请人： 中科芯微智能装备(沈阳)有限公司
摘要： 本发明提供了一种传动装置、真空机械手及真空机械手的传动方法，真空机械手包括第一摆臂、第二摆臂以及晶圆拿取手，传动装置包括：第一传动机构设于第一摆臂内且沿第一摆臂的长度方向设置，第一传动机构的其中一个端部延伸出第一摆臂并与第二摆臂的其中一个端部连接；第二传动机构设于第一摆臂内；第三传动机构设于第二摆臂内且沿第二摆臂的长度方向设置，第三传动机构的其中一个端部与第二传动机构连接，第三传动机构的另一个端部延伸出第二摆臂的另一个端部并与晶圆拿取手连接。第一摆臂、第二摆臂、晶圆拿取手可实现无限回转，因没有转动限制，无需顺时针旋转一定角度后再逆时针回转至初始位置，加快了生产节拍，实现了晶圆拿取手的无限回转。
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公开(公告)号：CN117817661A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311869277.3
申请日：2023-12-31
申请人： 中科芯微智能装备(沈阳)有限公司
IPC分类号： B25J9/16 , H04L67/12 , H04L67/141 , H04L67/30
摘要： 本发明涉及半导体生产领域，提供一种用于洁净机器人设备的示教方法、示教器、系统和介质，该方法包括：S1，获取初始配置文件，初始化示教器的配置信息；S2，根据示教器当前的配置信息，获取可连接的洁净机器人设备信息；所述洁净机器人设备信息对应N个洁净机器人设备，N为大于1的整数；S3，针对每个洁净机器人设备，发送连接请求；S4，示教器与洁净机器人设备建立连接后，发送当前洁净机器人设备的对应协议，以获取洁净机器人设备具体信息，根据所述洁净机器人设备具体信息对示教器进行配置更新；S5，示教器配置更新后，对N个洁净机器人设备进行示教。该方法用于提升对洁净机器人设备示教的效率。
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公开(公告)号：CN116435237A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310489215.3
申请日：2023-04-28
申请人： 中科芯微智能装备(沈阳)有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687 , H01L21/67 , B25J11/00 , B25J15/10 , B25J19/00 , B65G49/07
摘要： 本发明提供了一种晶圆输送装置和生产装置，包括机械臂组件、旋转驱动组件和升降组件；所述旋转驱动组件包括从上而下依次固定设置的第一旋转驱动组件、第二旋转驱动组件和第三旋转驱动组件，所述第一旋转驱动组件与下大臂连接以驱动下大臂进行旋转运动，上大臂与所述下大臂固定设置且随所述下大臂转动，所述第二旋转驱动组件和第三旋转驱动组件分别与下小臂和上小臂连接以分别驱动下小臂和上小臂进行旋转运动，从而带动第一末端执行器、第二末端执行器、第三末端执行器和第四末端执行器执行伸缩运动和旋转运动；本发明实现了四个工位的晶圆输送，大大提升了工作效率，而且旋转驱动组件少，整体结构紧凑，有效减小了所述晶圆输送装置的整体体积。
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公开(公告)号：CN116403957A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310486258.6
申请日：2023-04-28
申请人： 中科芯微智能装备(沈阳)有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , B25J18/00
摘要： 本发明提供了一种晶圆运输装置和生产装置，包括机械臂组件和旋转驱动组件；所述机械臂组件包括依次连接的大臂、小臂和末端执行器；所述旋转驱动组件包括与所述大臂连接的第一旋转驱动组件和与所述小臂连接的第二旋转驱动组件；所述第一旋转驱动组件和所述第二旋转驱动组件均包括驱动外壳、电联接固定件和转接件，且通过线缆件与控制组件和电源件连接，所述电联接固定件设置于所述驱动外壳的外壁，所述转接件固定设置于所述电联接固定件，所述线缆件依次贯穿所述驱动外壳和所述电联接固定件且固定设置于所述转接件。本发明解决了现有技术中机械手内部线缆占用空间较大，线缆贯穿驱动壳体会影响密封效果，线缆晃动引起损耗导致线缆寿命降低问题。
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公开(公告)号：CN118169457A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410192371.8
申请日：2024-02-21
申请人： 中科芯微智能装备(沈阳)有限公司
IPC分类号： G01R19/165
摘要： 本发明提供一种高低电平自动判断电路及电路系统，包括公共端正极、公共端负极和指示灯模块；所述指示灯模块用于根据电路板的器件连接处的电平高低进行亮灯指示；所述指示灯模块通过所述公共端正极获取电源，并通过所述公共端负极接地。通过指示灯模块能够直观、准确地显示出电路板的器件连接处的电平高低，无需额外的测试装置，不仅提高了高低电平分辨的效率，还能够避免人员操作而导致的误判的问题，解决了如何直观地确认电路板连接处的电平高低的问题。
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公开(公告)号：CN118055568A
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202410230357.2
申请日：2024-02-29
申请人： 中科芯微智能装备(沈阳)有限公司
摘要： 本发明提供一种传感器接线板及其制造方法、测量系统，包括：根据测量需求，确认传感器的型号及数量；根据传感器的型号及数量，设计印制电路板的通道和焊点，以形成布图设计；利用布图设计加工印制电路板；将与传感器所匹配的接插件焊接在印制电路板的对应焊点处；对焊接有接插件的印制电路板进行测试。通过用印制电路板替代线缆，不仅能够省去线缆，使得布设简洁，还能够避免因接线复杂而导致的接错，保证连接正确、可靠；此外，在多个传感器共用一套接线板时，不仅简化了电路结构，还能够有效避免电磁和噪声干扰，解决了现有传感器连接方式接线复杂、易发生故障的问题。
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公开(公告)号：CN118041070A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410430635.9
申请日：2024-04-11
申请人： 中科芯微智能装备(沈阳)有限公司
摘要： 本发明涉及电路设计技术领域，具体提供一种直流电压转换电路及电压转换装置，包括：电压滤波模块，用于将输入的24V直流电压进行滤波稳压；电压转换模块，用于将滤波稳压后的24V直流电压转换为+9V直流电压和‑9V直流电压；电压输出模块，用于对所述电压转换模块输出的±+9V直流电压和‑9V直流电压进行滤波并分别输出。通过电压滤波模块对输入的24V电压进行滤波稳压，保证电压转换模块能够进行高效精准的电压转换；通过电压转换模块能够直接将24V直流电压转换为+9V直流电压和‑9V直流电压；通过电压输出模块对+9V直流电压和‑9V直流电压进行滤波，保证最终输出的+9V电压和‑9V电压噪声较小、电压稳定，解决了如何将24V电压直接转换为±9V电压的问题。
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