一种基于阵列式压电微机械超声换能器的神经探针
摘要:
本发明提供一种基于阵列式压电微机械超声换能器的神经探针,涉及神经探针技术领域,包括探针主体(11)和压电微机械超声换能器(12),所述探针主体包括硅基底(13),所述压电微机械超声换能器(12)阵列式排布于所述探针主体(11)的正面和反面,其中,正面的压电微机械超声换能器(121)和反面的压电微机械超声换能器(122)之间电路互通。本发明通过MEMS技术来实现微超声器件分布于神经探针硅岛的正反两面及其阵列式排布,从而达成神经探针能更精切、高效的发射和接收超声刺激信号的目的。
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