一种显示面板用铜蚀刻液配方及其研制方法
摘要:
本发明蚀刻液的配方发现方法,特别是一种显示面板用铜蚀刻液配方及其研制方法,通过模型读取成分属性信息和SEM图像的信息,综合了蚀刻速率,选择性和均匀性三个方面的目标来达到高效研发显示面板铜蚀刻液配方的目的。
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