发明公开
- 专利标题： 薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示面板
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申请号： CN202311632591.X申请日： 2023-11-30
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公开(公告)号： CN117878160A公开(公告)日： 2024-04-12
- 发明人: 李胜斌 , 孟冰 , 刘俊伟 , 王淑鹏 , 刘家川
- 申请人： 合肥维信诺科技有限公司 , 昆山国显光电有限公司
- 申请人地址： 安徽省合肥市新站区新蚌埠路5555号;
- 专利权人： 合肥维信诺科技有限公司,昆山国显光电有限公司
- 当前专利权人： 合肥维信诺科技有限公司,昆山国显光电有限公司
- 当前专利权人地址： 安徽省合肥市新站区新蚌埠路5555号;
- 代理机构： 北京布瑞知识产权代理有限公司
- 代理商 王海臣
- 主分类号： H01L29/786
- IPC分类号： H01L29/786 ; H01L21/34 ; H01L27/12
摘要：
本申请实施例提供了一种薄膜晶体管及其制备方法、一种阵列基板及一种显示面板。薄膜晶体管包括导电功能层，导电功能层用于吸附薄膜晶体管中的氢原子。通过在薄膜晶体管中设置用于吸附氢原子导电功能层，从而可以俘获后续膜层沉积工艺中解离出来的氢原子，有效阻挡氢原子扩散至有源层内，以提升器件性能。
IPC分类:
