电容器结构和包括该电容器结构的半导体器件
Abstract:
一种电容器结构包括:下电极结构,具有位于基板上的下电极和包括电极图案的电极结构,该电极图案沿与基板的上表面实质上垂直的竖直方向堆叠在下电极上;介电图案,接触下电极结构;以及上电极,接触介电图案。
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