发明公开
- 专利标题: 基于多晶硅膜的N沟道结型场效应管及制备方法
-
申请号: CN202410105727.X申请日: 2024-01-25
-
公开(公告)号: CN117936589A公开(公告)日: 2024-04-26
- 发明人: 请求不公布姓名 , 请求不公布姓名 , 请求不公布姓名 , 请求不公布姓名 , 请求不公布姓名
- 申请人: 安徽亿芯链智能科技发展有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市高新区黄山路602号合肥国家大学科技园创业孵化中心C302
- 专利权人: 安徽亿芯链智能科技发展有限公司
- 当前专利权人: 安徽亿芯链智能科技发展有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市高新区黄山路602号合肥国家大学科技园创业孵化中心C302
- 代理机构: 合肥正则元起专利代理事务所
- 代理商 任伟
- 主分类号: H01L29/808
- IPC分类号: H01L29/808 ; H01L21/337
摘要:
本发明公开了基于多晶硅膜的N沟道结型场效应管及制备方法,属于结型场效应管领域,包括原始硅衬底晶圆片,所述原始硅衬底晶圆片上表面掺杂设有P型隐埋层;P型隐埋层以及原始硅衬底晶圆片的表面外延生长设有N‑外延层;N‑型导电沟道光刻掺杂设有P‑型栅极掺杂区;P型掺杂区光刻掺杂设有P+型背栅掺杂区;P型掺杂区光刻掺杂设有P型隐埋层连接区;沉积氧化硅介质膜刻蚀形成第一金属铝层互连接触窗口;沉积氧化硅‑氮硅复合介质区刻蚀形成第一金属铝层与第二金属铝层间的互连孔。本发明实现了高输入阻抗、超低的栅极漏电流及极低的栅电极电阻,实现了器件源端极低的寄生电阻,进一步降低背栅电极的电阻。
IPC分类: