基于多晶硅膜的N沟道结型场效应管及制备方法
摘要:
本发明公开了基于多晶硅膜的N沟道结型场效应管及制备方法,属于结型场效应管领域,包括原始硅衬底晶圆片,所述原始硅衬底晶圆片上表面掺杂设有P型隐埋层;P型隐埋层以及原始硅衬底晶圆片的表面外延生长设有N‑外延层;N‑型导电沟道光刻掺杂设有P‑型栅极掺杂区;P型掺杂区光刻掺杂设有P+型背栅掺杂区;P型掺杂区光刻掺杂设有P型隐埋层连接区;沉积氧化硅介质膜刻蚀形成第一金属铝层互连接触窗口;沉积氧化硅‑氮硅复合介质区刻蚀形成第一金属铝层与第二金属铝层间的互连孔。本发明实现了高输入阻抗、超低的栅极漏电流及极低的栅电极电阻,实现了器件源端极低的寄生电阻,进一步降低背栅电极的电阻。
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/68 ..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的(H01L29/96优先)
H01L29/76 ...单极器件
H01L29/772 ....场效应晶体管
H01L29/80 .....由PN结或其他整流结栅产生场效应的
H01L29/808 ......带有PN结栅的
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