本公开提供一种低物质量圆柱形微结构气体探测器及其制备方法，该制备方法包括：操作S10：制备面电阻率不高于0.25Ω/□的柔性低物质量电极基材；操作S20：制备柔性放大单元和读出电极单元；操作S30：基于内筒辅助结构和所述低物质量电极基材、柔性放大单元、读出电极单元制备内筒探测器电极组件；操作S40：基于外筒辅助结构和所述低物质量电极基材制备外筒漂移电极组件；以及操作S50：基于内筒辅助结构和外筒辅助结构将内筒探测器电极组件和外筒漂移电极组件进行组装，并进行电气连接及固定密封，完成气体探测器的制备。