本发明公开了毫米波/太赫兹波参数测试装置、测试方法、参数处理方法以及处理设备，测试装置包括发射源组件以及探测器。所述发射源组件包括可连续调频的发射源，所述发射源用于发射毫米波或太赫兹波，所述发射源组件具有一出射面，所述发射源发射的毫米波或太赫兹波能自所述出射面射出；所述探测器以所述出射面所在处为圆心，相对所述发射源组件可旋转设置，所述探测器用于接收经所述出射面射出的毫米波或太赫兹波。本发明毫米波/太赫兹波参数测试装置、测试方法、参数处理方法以及处理设备，其能够实现毫米波/太赫兹波束多个参数的测试并获取波束的多个关键参数指标，对被测毫米波/太赫兹波束的快速、高效、标准化测试具有重要意义。