发明公开
- 专利标题: 一种燃料颗粒表面磁控溅射涂层方法
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申请号: CN202211483785.3申请日: 2022-11-24
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公开(公告)号: CN118064851A公开(公告)日: 2024-05-24
- 发明人: 撒兴瑞 , 冯极 , 王晓眉 , 刘珣 , 王少芃
- 申请人: 中核北方核燃料元件有限公司
- 申请人地址: 内蒙古自治区包头市青山区456信箱科技处
- 专利权人: 中核北方核燃料元件有限公司
- 当前专利权人: 中核北方核燃料元件有限公司
- 当前专利权人地址: 内蒙古自治区包头市青山区456信箱科技处
- 代理机构: 核工业专利中心
- 代理商 李东斌
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C23C14/50 ; C23C14/54
摘要:
本发明提供了一种燃料颗粒表面磁控溅射涂层方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:打开磁控溅射炉门,在磁控溅射炉原有的溅射转动平台上安装旋转料台,在所述旋转料台上安装倾角支架;步骤2:料杯内放入燃料颗粒粉末,将料杯放置在倾角支架上,使所述料杯倾斜;步骤3:关闭所述磁控溅射炉门,抽真空,设定磁控溅射参数和磁控溅射时间;步骤4:磁控溅射炉腔室内真空达到小于1×10‑2Pa时,打开氩气充气阀,并调整真空阀,使炉内压力保持在0.35Pa~0.45Pa,设定料台自转速度为5r/min,启动料台自转,启动磁控溅射,对燃料颗粒表面进行磁控溅射涂层。本发明采用磁控溅射方法对粉末颗粒表面进行涂层,工艺简单,成本低,过程易控制。
IPC分类: