一种燃料颗粒表面磁控溅射涂层方法

    公开(公告)号:CN118064851A

    公开(公告)日:2024-05-24

    申请号:CN202211483785.3

    申请日:2022-11-24

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/50 C23C14/54

    摘要: 本发明提供了一种燃料颗粒表面磁控溅射涂层方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:打开磁控溅射炉门,在磁控溅射炉原有的溅射转动平台上安装旋转料台,在所述旋转料台上安装倾角支架;步骤2:料杯内放入燃料颗粒粉末,将料杯放置在倾角支架上,使所述料杯倾斜;步骤3:关闭所述磁控溅射炉门,抽真空,设定磁控溅射参数和磁控溅射时间;步骤4:磁控溅射炉腔室内真空达到小于1×10‑2Pa时,打开氩气充气阀,并调整真空阀,使炉内压力保持在0.35Pa~0.45Pa,设定料台自转速度为5r/min,启动料台自转,启动磁控溅射,对燃料颗粒表面进行磁控溅射涂层。本发明采用磁控溅射方法对粉末颗粒表面进行涂层,工艺简单,成本低,过程易控制。