本发明公开了一种离子束沉积系统，包括载片台和压环，所述压环位于所述载片台的上方，并能够沿所述载片台的轴线方向移动；还包括：比较片盘，其呈环状结构且设于所述载片台的外周，所述比较片盘沿其周向具有多个安装比较片的片位；所述压环具有一个透光孔，所述透光孔的形状与所述比较片适配；所述压环与所述载片台周向限位连接，且能覆盖所述比较片盘；所述载片台与所述比较片盘能够一起转动，也能够相对转动。通过结构优化，不需开腔就可实现多个比较片的自动切换作业，减少开腔更换比较片的频率，操作简单且能提高镀膜效率。