一种高电阻率稳定性氮化硅复合陶瓷及其制备方法，属于电工绝缘陶瓷技术领域，克服现有技术中绝缘支柱电阻率稳定性较差的缺陷。本发明高电阻率稳定性氮化硅复合陶瓷的制备方法包括以下步骤：步骤1、将氮化硅粉末、烧结助剂、分散剂、粘结剂和水混合制备浆料；所述烧结助剂包括Y2O3、Al2O3和MgO，Y2O3：Al2O3：MgO：氮化硅的质量比为(0.01‑0.15)：(0.01‑0.13)：(0.01‑0.1)：1；步骤2、制备造粒粉；步骤3、制得陶瓷生坯；步骤4、排胶；步骤5、在常压下进行第一步烧结，随后在氮气压力下进行第二步烧结。本发明制得的高电阻率稳定性氮化硅复合陶瓷具有较高的电阻率稳定性。