发明公开
CN118130568A 氢气传感器及其制备方法
审中-实审
- 专利标题： 氢气传感器及其制备方法
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申请号： CN202410555278.9申请日： 2024-05-07
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公开(公告)号： CN118130568A公开(公告)日： 2024-06-04
- 发明人: 周军 , 欧宗现 , 李南奇 , 孙树清 , 谢昊苏 , 萧彤 , 谭建熙 , 张富源 , 刘斌 , 杜野
- 申请人： 港华能源创科(深圳)有限公司 , 清华大学深圳国际研究生院 , 卓度计量技术(深圳)有限公司 , 深圳市汇北川电子技术有限公司
- 申请人地址： 广东省深圳市福田区福保街道福保社区桃花路与槟榔道交汇处西北深九科技创业园5号楼209E; ; ;
- 专利权人： 港华能源创科(深圳)有限公司,清华大学深圳国际研究生院,卓度计量技术(深圳)有限公司,深圳市汇北川电子技术有限公司
- 当前专利权人： 港华能源创科（深圳）有限公司,清华大学深圳国际研究生院 卓度计量技术（深圳）有限公司 深圳汇北川科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 518000 广东省深圳市福田区福保街道福保社区桃花路与槟榔道交汇处西北深九科技创业园5号楼209E
- 代理机构： 广州三环专利商标代理有限公司
- 代理商 陈舟苗
- 主分类号： G01N27/12
- IPC分类号： G01N27/12 ; C23C28/00
摘要：
本申请公开了一种氢气传感器及其制备方法，氢气传感器包括衬底和传感器组件，传感器组件位于衬底的中部，传感器组件包括加热电阻、测量模块、以及气敏电阻模块，测量模块和气敏电阻模块均位于加热电阻背离衬底的一侧，且气敏电阻模块和测量模块连接，气敏电阻模块为钯合金薄膜电阻，且位于加热电阻的分布区域内。本申请有利于提高氢气传感器在氢气监测和检测方面的可靠性和精确性。
公开/授权文献
- CN118130568B 氢气传感器及其制备方法 公开/授权日：2024-07-05
