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公开(公告)号:CN118130568B
公开(公告)日:2024-07-05
申请号:CN202410555278.9
申请日:2024-05-07
申请人: 港华能源创科(深圳)有限公司 , 清华大学深圳国际研究生院 , 卓度计量技术(深圳)有限公司 , 深圳市汇北川电子技术有限公司
摘要: 本申请公开了一种氢气传感器及其制备方法,氢气传感器包括衬底和传感器组件,传感器组件位于衬底的中部,传感器组件包括加热电阻、测量模块、以及气敏电阻模块,测量模块和气敏电阻模块均位于加热电阻背离衬底的一侧,且气敏电阻模块和测量模块连接,气敏电阻模块为钯合金薄膜电阻,且位于加热电阻的分布区域内。本申请有利于提高氢气传感器在氢气监测和检测方面的可靠性和精确性。
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公开(公告)号:CN118130568A
公开(公告)日:2024-06-04
申请号:CN202410555278.9
申请日:2024-05-07
申请人: 港华能源创科(深圳)有限公司 , 清华大学深圳国际研究生院 , 卓度计量技术(深圳)有限公司 , 深圳市汇北川电子技术有限公司
摘要: 本申请公开了一种氢气传感器及其制备方法,氢气传感器包括衬底和传感器组件,传感器组件位于衬底的中部,传感器组件包括加热电阻、测量模块、以及气敏电阻模块,测量模块和气敏电阻模块均位于加热电阻背离衬底的一侧,且气敏电阻模块和测量模块连接,气敏电阻模块为钯合金薄膜电阻,且位于加热电阻的分布区域内。本申请有利于提高氢气传感器在氢气监测和检测方面的可靠性和精确性。
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公开(公告)号:CN118125373B
公开(公告)日:2024-07-02
申请号:CN202410544011.X
申请日:2024-05-06
申请人: 港华能源创科(深圳)有限公司 , 清华大学深圳国际研究生院 , 卓度计量技术(深圳)有限公司 , 深圳市汇北川电子技术有限公司
摘要: 本申请公开了一种氢气传感器的制备方法及氢气传感器,方法包括:提供第一衬底;在第一衬底上镀黏附层和金属牺牲层;在金属牺牲层上形成金属层,金属层形成有环境电阻和加热电阻;在金属层上涂覆第一光刻胶,并坚膜形成支撑膜层,第一光刻胶为SU‑8光刻胶;在支撑膜层上涂覆第一光刻胶,并采用光刻技术形成支撑柱层;提供第二衬底;在第二衬底上涂覆粘合剂,并粘合第二衬底和支撑柱层,得到传感器模型;将传感器模型放置于刻蚀液中,使第一衬底脱离金属层。本申请有利于在简化氢气传感器的生产工艺的同时,提高成品的良品率。
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公开(公告)号:CN118125373A
公开(公告)日:2024-06-04
申请号:CN202410544011.X
申请日:2024-05-06
申请人: 港华能源创科(深圳)有限公司 , 清华大学深圳国际研究生院 , 卓度计量技术(深圳)有限公司 , 深圳市汇北川电子技术有限公司
摘要: 本申请公开了一种氢气传感器的制备方法及氢气传感器,方法包括:提供第一衬底;在第一衬底上镀黏附层和金属牺牲层;在金属牺牲层上形成金属层,金属层形成有环境电阻和加热电阻;在金属层上涂覆第一光刻胶,并坚膜形成支撑膜层,第一光刻胶为SU‑8光刻胶;在支撑膜层上涂覆第一光刻胶,并采用光刻技术形成支撑柱层;提供第二衬底;在第二衬底上涂覆粘合剂,并粘合第二衬底和支撑柱层,得到传感器模型;将传感器模型放置于刻蚀液中,使第一衬底脱离金属层。本申请有利于在简化氢气传感器的生产工艺的同时,提高成品的良品率。
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