-
公开(公告)号：CN106768116A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201710052327.7
申请日：2017-01-23
申请人： 卓度计量技术(深圳)有限公司
CPC分类号： G01F1/86 , B81B7/0006 , B81B7/0032 , G01F15/00
摘要： 本发明实施例提供微机电质量流量传感器组件及其制作方法。所述微机电质量流量传感器组件包括：传感器芯片和载体，所述传感器芯片包括：基底；设置在所述基底的第一表面的支撑膜和热敏电阻；设置在所述支撑膜上的至少两个感应元件及加热器；设置在所述基底一端由所述第一表面贯穿至相对的第二表面的通孔，所述通孔的填充物的一侧设置有传感器芯片的背面触点；覆盖在所述感应元件、加热器及热敏电阻上使所述感应元件、加热器及热敏电阻连接至所述通孔的填充物的导电层；覆盖在所述传感器芯片上表面的钝化层；以及，所述载体通过焊盘与传感器芯片的所述背面触点连接。
-
公开(公告)号：CN118130568B
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202410555278.9
申请日：2024-05-07
申请人： 港华能源创科(深圳)有限公司 , 清华大学深圳国际研究生院 , 卓度计量技术(深圳)有限公司 , 深圳市汇北川电子技术有限公司
摘要： 本申请公开了一种氢气传感器及其制备方法，氢气传感器包括衬底和传感器组件，传感器组件位于衬底的中部，传感器组件包括加热电阻、测量模块、以及气敏电阻模块，测量模块和气敏电阻模块均位于加热电阻背离衬底的一侧，且气敏电阻模块和测量模块连接，气敏电阻模块为钯合金薄膜电阻，且位于加热电阻的分布区域内。本申请有利于提高氢气传感器在氢气监测和检测方面的可靠性和精确性。
-
公开(公告)号：CN118130568A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410555278.9
申请日：2024-05-07
申请人： 港华能源创科(深圳)有限公司 , 清华大学深圳国际研究生院 , 卓度计量技术(深圳)有限公司 , 深圳市汇北川电子技术有限公司
摘要： 本申请公开了一种氢气传感器及其制备方法，氢气传感器包括衬底和传感器组件，传感器组件位于衬底的中部，传感器组件包括加热电阻、测量模块、以及气敏电阻模块，测量模块和气敏电阻模块均位于加热电阻背离衬底的一侧，且气敏电阻模块和测量模块连接，气敏电阻模块为钯合金薄膜电阻，且位于加热电阻的分布区域内。本申请有利于提高氢气传感器在氢气监测和检测方面的可靠性和精确性。
-
公开(公告)号：CN116907609A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310890077.X
申请日：2023-07-19
申请人： 卓度计量技术(深圳)有限公司
摘要： 本发明提供一种恒温差式热式气体流量计的温度补偿方法及电子设备，涉及流量检测区域。该方法包括：根据流过电容的电流等于流过第一电阻的电流，确定第一方程；根据第一节点的电压等于第三节点的电压在包含第二电阻、温度补偿电阻和热敏电阻的支路上的分压，确定第二方程；根据第二节点的电流，确定第三方程；根据加热电阻的热方程，确定第四方程；根据热传递公式，确定第五方程；根据热敏电阻的热敏变化规律，确定第六方程；根据传感器驱动电路的输出功率，得到第七方程；根据多个方程从各器件中确定目标器件，并计算目标器件的目标参数值，根据目标参数值进行目标器件的调整。这样能有效地抑制温漂，并且只需调整目标器件的阻值参数可减少成本。
-
公开(公告)号：CN118125373B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202410544011.X
申请日：2024-05-06
申请人： 港华能源创科(深圳)有限公司 , 清华大学深圳国际研究生院 , 卓度计量技术(深圳)有限公司 , 深圳市汇北川电子技术有限公司
摘要： 本申请公开了一种氢气传感器的制备方法及氢气传感器，方法包括：提供第一衬底；在第一衬底上镀黏附层和金属牺牲层；在金属牺牲层上形成金属层，金属层形成有环境电阻和加热电阻；在金属层上涂覆第一光刻胶，并坚膜形成支撑膜层，第一光刻胶为SU‑8光刻胶；在支撑膜层上涂覆第一光刻胶，并采用光刻技术形成支撑柱层；提供第二衬底；在第二衬底上涂覆粘合剂，并粘合第二衬底和支撑柱层，得到传感器模型；将传感器模型放置于刻蚀液中，使第一衬底脱离金属层。本申请有利于在简化氢气传感器的生产工艺的同时，提高成品的良品率。
-
公开(公告)号：CN118125373A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410544011.X
申请日：2024-05-06
申请人： 港华能源创科(深圳)有限公司 , 清华大学深圳国际研究生院 , 卓度计量技术(深圳)有限公司 , 深圳市汇北川电子技术有限公司
摘要： 本申请公开了一种氢气传感器的制备方法及氢气传感器，方法包括：提供第一衬底；在第一衬底上镀黏附层和金属牺牲层；在金属牺牲层上形成金属层，金属层形成有环境电阻和加热电阻；在金属层上涂覆第一光刻胶，并坚膜形成支撑膜层，第一光刻胶为SU‑8光刻胶；在支撑膜层上涂覆第一光刻胶，并采用光刻技术形成支撑柱层；提供第二衬底；在第二衬底上涂覆粘合剂，并粘合第二衬底和支撑柱层，得到传感器模型；将传感器模型放置于刻蚀液中，使第一衬底脱离金属层。本申请有利于在简化氢气传感器的生产工艺的同时，提高成品的良品率。
-
公开(公告)号：CN105300460A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510815043.X
申请日：2015-11-19
申请人： 卓度计量技术(深圳)有限公司
IPC分类号： G01F1/36
摘要： 本发明提供一种气体流量计，包括：壳体、流量计主体及电子控制组件仓。壳体设置于所述流量计主体外，电子控制组件仓设置于所述壳体上。流量计主体包括，进气接口、出气接口及位于进气接口与出气接口之间的气体流道。气体流道内设置有第一气体流道及第二气体流道，在第一气体流道及第二气体流道中分别设置传感器。所述电子控制组件仓通过传感器采集到的流体参数分别计算出第一气体流道对应的气体的总量值及第二气体流道对应的气体的总量值，电子控制组件仓还显示上述气体的总量值。本发明还提供一种气体流量显示方法。本发明解决了气体流量计安装维护难、量程比小及传感器污染后继续测量导致测量数据不准确的技术问题。
-
公开(公告)号：CN115931180A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202210871364.1
申请日：2022-07-22
申请人： 爱知时计电机株式会社 , 山东思达特测控设备有限公司 , 卓度计量技术(深圳)有限公司
发明人： 森和久
IPC分类号： G01K17/00
摘要： 本发明提供一种能够以简单的结构针对组成不同的各种气体高精度地测量气体的热量的技术。本发明涉及一种热量计。热量计具有执行第一测量处理和第二测量处理的处理部，所述第一测量处理用于对被测量气体中传播的声波的速度进行测量，所述第二测量处理用于对所述气体的热导率进行测量，所述处理部基于通过所述第一测量处理测量的声波的速度和通过所述第二测量处理测量的热导率来计算所述气体的每单位体积的热量。
-
公开(公告)号：CN113588029A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110863072.9
申请日：2021-07-29
申请人： 卓度计量技术(深圳)有限公司
摘要： 本发明的实施例提供了一种实流分流测试装置和方法，涉及流体检测技术领域。实流分流测试装置包括流量计和分流计，流量计包括管体、孔板和传感器，孔板安装在管体的入口处，传感器安装在管体的内部；分流计为圆筒形结构，分流计安装在管体的内部，分流计的中心线与管体的中心线共线设置，传感器插入分流计的内部。实流分流测试装置通过将分流计装配到流量计后替代测试，同时基于分流原理，实现对低压大流量进行实流测试，而且测试方便、可靠且准确。
-
公开(公告)号：CN220840070U
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202322448104.6
申请日：2023-09-08
申请人： 卓度计量技术(深圳)有限公司
IPC分类号： B25H1/08
摘要： 本申请提供了一种装配工装，涉及装配技术领域。装配工装用于对工件上的螺栓进行定位，装配工装包括工作台和夹具；工作台具有安装板，安装板用于固定连接工件；夹具包括第一夹块和第二夹块；第一夹块和第二夹块上均开设有与螺栓头部对应的固定孔；第一夹块和第二夹块固定连接并套设于工件上时，螺栓的头部嵌入于固定孔内。本申请的装配工装先将工件固定于安装板上，再将第一夹块和第二夹块固定连接并套设于工件上，以使工件上的螺栓头部能够嵌入于固定孔内，进而避免工件在装配作业时发生摇晃，并保证了螺栓装配位置的准确性。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
20 条记录 (耗时 0.036 秒)