发明公开
- 专利标题: 碱金属碲化物光电阴极及其制备方法
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申请号: CN202410274301.7申请日: 2024-03-11
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公开(公告)号: CN118136478A公开(公告)日: 2024-06-04
- 发明人: 魏伟 , 张珽 , 袁敏
- 申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 申请人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号
- 专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号
- 代理机构: 苏州三英知识产权代理有限公司
- 代理商 陆颖
- 主分类号: H01J9/12
- IPC分类号: H01J9/12 ; H01J1/34
摘要:
本发明公开了一种碱金属碲化物光电阴极的制备方法及碱金属碲化物光电阴极,制备方法包括:在真空状态下,采用分子束外延工艺在基底上进行碲元素和碱金属元素的共沉积,形成碱金属碲化物薄膜;在真空状态下,采用分子束外延工艺在碱金属碲化物薄膜表面生长镂空结构的Au覆盖层,形成碱金属碲化物光电阴极。本发明的碱金属碲化物光电阴极及其制备方法,能够在保证碱金属碲化物量子效率的同时,适当减少碱金属碲化物的暴露面积,有效阻止H2O、O2等反应气氛与阴极的反应,技术成本较低且不会污染光电阴极。