本发明提供了一种硅基叠层薄膜太阳能电池结构、其制备方法及太阳能电池。所述硅基叠层薄膜太阳能电池结构包括：基板、N型重掺杂层、光电转换层、P型重掺杂层和金属电极；所述光电转换层由子电池和隧穿结串联而成。其中，结构中的P型掺杂层和N型掺杂层采用高质量、高电导、宽带隙的多晶碳化硅材料，P型重掺杂层和N型重掺杂层采用重掺杂多晶碳化硅材料作为透明导电电极，大幅度降低TCO靶材与金属浆料的使用导致的高生产成本，克服使用非晶硅材料所引起的寄生吸收和串联电阻大的问题，为双结和多结薄膜太阳能电池在产业利用提供有效的结构。