发明公开
CN118299241A 电子装置及其使用方法
审中-实审
- 专利标题： 电子装置及其使用方法
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申请号： CN202310081068.6申请日： 2023-01-19
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公开(公告)号： CN118299241A公开(公告)日： 2024-07-05
- 发明人: 陈苡谚
- 申请人： 力晶积成电子制造股份有限公司
- 申请人地址： 中国台湾新竹科学工业园区
- 专利权人： 力晶积成电子制造股份有限公司
- 当前专利权人： 力晶积成电子制造股份有限公司
- 当前专利权人地址： 中国台湾新竹科学工业园区
- 代理机构： 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 王锐
- 优先权： 112100274 20230104 TW
- 主分类号： H01J37/22
- IPC分类号： H01J37/22 ; H01J37/31 ; H01J37/304
摘要：
本发明公开一种电子装置及其使用方法，其中该电子装置包括离子源、光源、影像传感器以及控制器。离子源用以产生聚焦离子束，且适于沿多个铣削线依序铣削样品。光源用以产生照明光束。影像传感器用以接收照明光束被样品反射后的影像光束。控制器电连接至离子源、光源及影像传感器。在聚焦离子束沿铣削线的其中之一铣削线铣削样品后，控制器根据影像光束沿该其中之一铣削线的光强度相对于位置的曲线图，调整下一条铣削线的方向及位置。