发明公开
- 专利标题: 用于EB-PVD多自由度涂层工装的阻挡机构及设备
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申请号: CN202410452802.X申请日: 2024-04-16
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公开(公告)号: CN118326342A公开(公告)日: 2024-07-12
- 发明人: 杨鹏 , 雷丹 , 刘朋飞 , 刘长刚 , 杨晨曦 , 王军 , 赵耀伟 , 孙佳渭
- 申请人: 中国航发动力股份有限公司
- 申请人地址: 陕西省西安市未央区徐家湾
- 专利权人: 中国航发动力股份有限公司
- 当前专利权人: 中国航发动力股份有限公司
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市未央区徐家湾
- 代理机构: 西安通大专利代理有限责任公司
- 代理商 曾翼
- 主分类号: C23C14/30
- IPC分类号: C23C14/30 ; C23C14/50
摘要:
本发明涉及EB‑PVD设备改造技术领域,尤其涉及一种用于EB‑PVD多自由度涂层工装的阻挡机构及设备,通过在EB‑PVD底部连接的弹簧板,并通过在弹簧板上对称设置连接片,每个连接片上分别铰接有挡片,当多自由度涂层工装随设备主轴旋转时,挡块滑入挡片和弹簧片之间与弹簧板相触,实现了对多自由度涂层工装的径向固定,轴向可自由运动的功能,防止多自由度涂层工装公转部分出现反转,保证了多自由度涂层工装的稳定运行,从而使得涡轮叶片各部位的涂层质量均匀一致。解决现有技术中存在的多自由度输出的涂层工装工作过程阻力不稳定,易出现反转现象,导致的涡轮叶片的涂层质量差的问题。