一种回转轴五自由度误差测量装置及方法
摘要:
本发明属于精密仪器相关技术领域,其公开了一种回转轴五自由度误差测量装置及方法,所述测量装置包括角度调整架、中心固定结构、激光位移传感器测量模块及视准仪模组,所述中心固定结构可拆卸的设置在所述角度调整架上,所述激光位移传感器测量模块设置在所述中心固定结构上,所述视准仪模组设置在所述中心固定结构内;所述视准仪模组用于测量回转轴绕X轴和Y轴偏转的倾斜误差;所述激光位移传感器模块用于测量回转轴在X、Y、Z方向上的位置误差;所述视准仪模组与所述激光位移传感器模块能同时工作。本发明解决了难以同时测量多自由度误差的技术问题。
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