发明公开
CN118335637A 检查装置
审中-公开
- 专利标题： 检查装置
-
申请号： CN202410034769.9申请日： 2024-01-10
-
公开(公告)号： CN118335637A公开(公告)日： 2024-07-12
- 发明人: 李斗炯 , 郑求桓 , 尹柱东 , 李东河 , 李珠远 , 林相亨
- 申请人： 三星显示有限公司
- 申请人地址： 韩国京畿道
- 专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道
- 代理机构： 北京金宏来专利代理事务所
- 代理商 李子光
- 优先权： 10-2023-0171114 20231130 KR 10-2023-0171114 20231130 KR
- 主分类号： H01L21/66
- IPC分类号： H01L21/66 ; G06T7/00 ; G06N3/0464 ; G01N21/01 ; G01N21/88 ; G01N21/95
摘要：
提供了检查装置，检查装置包括图像输出单元、存储单元和神经网络处理单元，图像输出单元配置成输出针对包括氧化物半导体的检查目标的检查图像，存储单元配置成存储通过人工神经网络生成的多个基准图像和指示氧空位分布的多个基准数据，神经网络处理单元配置成将多个基准图像与检查图像进行比较并且选择与检查图像对应的选择基准图像并且基于与选择基准图像对应的选择基准数据来输出氧空位分布图像。
IPC分类:
