一种面外检测四质量块MEMS陀螺仪及其电路调理方法
摘要:
本发明涉及陀螺仪技术领域,公开一种面外检测四质量块MEMS陀螺仪及其电路调理方法,包括基底和四个象限单元,四个象限单元对称分布且均设在基底上,每个象限单元均包括驱动组件、解耦组件、敏感组件及耦合组件,驱动组件包括驱动电极和驱动质量块,解耦组件包括哥式耦合质量块和敏感解耦梁,哥式耦合质量块与驱动质量块通过敏感解耦梁相连,敏感组件包括敏感质量块和敏感上极板,敏感质量块分别和与其正对的基底和敏感上极板形成双电容的敏感双电极,耦合组件将不同象限单元的驱动质量块、哥式耦合质量块及敏感质量块耦合连接。本发明公开的面外检测四质量块MEMS陀螺仪鲁棒性更大、零偏稳定性更好且易于加工。
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