公开(公告)号：CN117537795A

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN202311498799.7

申请日：2023-11-13

申请人： 成都博纳神梭科技发展有限公司

发明人： 高杰 ,  董自强 ,  崔焱 ,  柳星普 ,  刘贻兵

IPC分类号： G01C19/5712

摘要： 本发明涉及陀螺仪技术领域，公开一种带杠杆的三轴陀螺仪，包括杠杆、驱动检测框、驱动检测电极、驱动框、驱动电极、检测框、第三方向检测电极及四个呈正交对称分布的质量块，驱动电极能够驱动沿第二方向分布的两个质量块沿第二方向运动，并带动另外两个沿第一方向分布的质量块沿第一方向运动，驱动检测电极的活动端设置在驱动检测框上，驱动检测框和沿第一方向分布的质量块均与杠杆相连，驱动检测框的第一力臂小于质量块的第二力臂，检测框位于四个质量块的外侧且与每个质量块弹性连接，检测框与驱动检测框和驱动框连接。本发明公开的带杠杆的三轴陀螺仪，检测灵敏度、信噪比及稳定性均得到提高。

公开(公告)号：CN118624937A

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202410793403.X

申请日：2024-06-19

申请人： 成都博纳神梭科技发展有限公司

发明人： 董自强 ,  刘贻兵 ,  柳星普 ,  张铭昭 ,  高杰

IPC分类号： G01P15/097 ,  G01P1/00 ,  G01P1/04

摘要： 本发明涉及加速度传感器技术领域，公开一种双轴解耦谐振式加速度传感器，包括由外至内依次设置的：第一加速度检测组件，包括一个第一检测框、两个第一力放大组件以及两个第一谐振梁，第一力放大组件能够将第一作用力放大至第二作用力；解耦组件，包括解耦框；第二加速度检测组件，包括一个第二检测框、两个第二力放大组件以及两个第二谐振梁，第二力放大组件能够将第三作用力放大至第四作用力。本发明公开的双轴解耦谐振式加速度传感器可以同时测量两个垂直方向的加速度，并且有效消除了在测量时可能出现的相互干扰问题，增加了传感器的测量精度，同时增强了传感器对于微弱加速度的响应能力，提高了传感器的灵敏度，降低了加速度计的噪声。

公开(公告)号：CN116908486A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202310869317.8

申请日：2023-07-17

申请人： 成都博纳神梭科技发展有限公司

发明人： 董自强 ,  柳星普 ,  张铭昭 ,  曹飞 ,  高杰

IPC分类号： G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18

摘要： 本发明涉及电容式三轴加速度芯片技术领域，公开一种电容式三轴加速度芯片及其加工方法，其中芯片包括依次叠设的：第一电容组件，包括第一硅极板；第二电容组件，包括四个敏感单元，每个敏感单元均包括可动电容块、支撑电容块、中部电容块及连接弹簧，沿X轴方向正对设置的两个敏感单元内形成能够检测沿X轴方向的加速度的X轴差分电容，沿Y轴方向正对设置的两个敏感单元形成能够检测沿Y轴方向的加速度的Y轴差分电容；第三电容组件，包括第二硅极板，可动电容块与第一硅极板和第二硅极板组成用于检测沿Z轴方向的加速度的Z轴差分电容。本发明公开的芯片具有集成度好、电容值大、灵敏度高、线性度好及使用场景广的特点。

公开(公告)号：CN116908484A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202310869312.5

申请日：2023-07-17

申请人： 成都博纳神梭科技发展有限公司

发明人： 柳星普 ,  董自强 ,  张铭昭 ,  高杰 ,  崔焱

IPC分类号： G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18

摘要： 本发明涉及加速度芯片技术领域，公开一种三明治式三轴加速度芯片及其加工方法，加工方法包括：在顶部玻璃衬底上形成顶部电极板；将顶部电极板与第一SOI衬底固定连接；减薄第一底部硅层；形成第一加速度子组件，形成第一Z轴电容；在底部玻璃衬底上形成底部电极板；将第二SOI衬底与底部电极板固定连接；减薄第二底部硅层；形成第二加速度子组件，形成第二Z轴电容并与第一Z轴电容组成第三差分电容；沿第一方向的两个加速度组件的可动质量块与中间电极块形成第一差分电容，沿第二方向的两个加速度组件的可动质量块与中间电极块形成第二差分电容。本发明公开的加工方法加工而成的芯片集成度好、电容值大、灵敏度高且线性度好。

公开(公告)号：CN118624938A

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202410793837.X

申请日：2024-06-19

申请人： 成都博纳神梭科技发展有限公司

发明人： 董自强 ,  刘贻兵 ,  柳星普 ,  张铭昭 ,  高杰

IPC分类号： G01P15/097 ,  G01P1/00 ,  G01P1/04

摘要： 本发明涉及加速度计技术领域，公开一种双轴谐振式加速度计，包括：中心连接块；两个第一方向加速度检测组件，每个第一方向加速度检测组件均包括依次相连的一个第一质量块、两个第一杠杆以及一个第一谐振梁；两个第二方向加速度检测组件，每个第二方向加速度检测组件均包括依次相连的一个第二质量块、两个第二杠杆以及一个第二谐振梁，第二方向与第一方向垂直。本发明公开的双轴谐振式加速度计，第一杠杆和第二杠杆起到了放大作用力的效果，中心连接块有效提高了同一方向两个第一谐振梁或者两个第二谐振梁受力的一致性，确保了测量结果和加速度的线性度，提高了测量的准确性，增强了设备的稳定性和可靠性。

公开(公告)号：CN117629164A

公开(公告)日：2024-03-01

申请号：CN202311711664.4

申请日：2023-12-13

申请人： 成都博纳神梭科技发展有限公司

发明人： 董自强 ,  高杰 ,  崔焱 ,  柳星普 ,  刘贻兵

IPC分类号： G01C19/5607

摘要： 本发明涉及陀螺仪技术领域，公开一种单轴陀螺仪，包括驱动质量块、检测质量块、驱动连接弹性件、检测连接弹性件、梳齿驱动电极、梳齿驱动检测电极、耦合组件、连接梁、驱动锚点及检测锚点，两个通过耦合组件耦合连接的驱动质量块，每个驱动质量块的两端均设有检测质量块，驱动质量块与检测质量块通过连接梁相连，驱动质量块通过驱动连接弹性件与驱动锚点相连，检测质量块通过检测连接弹性件与检测锚点相连，梳齿驱动电极和梳齿驱动检测电极均设置在驱动质量块内，检测第一方向的角速度时，检测质量块在科氏力的作用下沿第三方向运动。本发明公开的单轴陀螺仪线性度高、稳定性好、灵敏度高且总体积小。

公开(公告)号：CN117553765A

公开(公告)日：2024-02-13

申请号：CN202311712193.9

申请日：2023-12-13

申请人： 成都博纳神梭科技发展有限公司

发明人： 董自强 ,  高杰 ,  崔焱 ,  柳星普 ,  刘贻兵

IPC分类号： G01C19/5621

摘要： 本发明涉及陀螺仪技术领域，公开一种单轴微机电陀螺仪，包括：第一锚点和驱动连接梁，驱动连接梁与第一锚点相连；驱动耦合组件和驱动质量块，驱动质量块通过驱动耦合组件相连；检测连接梁和检测质量块，每个检测质量块均通过检测连接梁与驱动质量块相连；包括耦合连接梁和耦合弹簧的驱动检测耦合组件，每个耦合弹簧均与两个驱动块组和两个检测质量块相连，每个耦合连接梁的两端分别与两个驱动质量块相连；梳齿驱动电极，对称分布在四个驱动质量块内；梳齿驱动检测电极，对称分布在四个驱动质量块内。本发明公开的单轴微机电陀螺仪电容量大、线性度好、灵敏度高且稳定性好。

公开(公告)号：CN117537796A

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN202311499387.5

申请日：2023-11-13

申请人： 成都博纳神梭科技发展有限公司

发明人： 胡永龙 ,  董自强 ,  高杰 ,  崔焱 ,  柳星普

IPC分类号： G01C19/5733 ,  G01C19/5747

摘要： 本发明涉及陀螺仪技术领域，公开一种三轴MEMS陀螺仪，包括：四个质量块，四个质量块呈正交对称分布，分别为第一质量块、第二质量块、第三质量块及第四质量块；中心耦合组件，包括中心锚点和中心连接件；检测块和检测连接梁，检测块的个数为四个，四个检测块分别与四个质量块一一对应设置，设置在第二质量块和第四质量块上的检测块和与其正对的衬底形成第一方向检测电极，设置在第一质量块和第三质量块上的检测块和与其正对衬底形成第二方向检测电极；第三方向检测电极组，设置在质量块上且能够检测第三方向的角速度。本发明公开的三轴MEMS陀螺仪增设的检测块和检测连接梁能够提升检测的线性度，有效增加测量精度。

公开(公告)号：CN117516501A

公开(公告)日：2024-02-06

申请号：CN202311710374.8

申请日：2023-12-13

申请人： 成都博纳神梭科技发展有限公司

发明人： 董自强 ,  高杰 ,  崔焱 ,  柳星普 ,  刘贻兵

IPC分类号： G01C19/5691

摘要： 本发明涉及陀螺仪技术领域，公开一种MEMS三轴陀螺仪，包括驱动固定弹性件、驱动锚点、多个驱动质量块、多个驱动耦合弹性件、梳齿驱动电极、多个耦合组件、多个连接框组件、中心锚点及多个梳齿驱动检测电极，该MEMS三轴陀螺仪在驱动状态下能够驱动质量块沿第一方向或者第二方向运动，还能够分别检测沿第一方向、第二方向及第三方向的角速度。本发明公开的MEMS三轴陀螺仪，灵敏度更高、体积更小，适用性更广。

公开(公告)号：CN118347483A

公开(公告)日：2024-07-16

申请号：CN202410497707.1

申请日：2024-04-24

申请人： 成都博纳神梭科技发展有限公司

发明人： 董自强 ,  刘贻兵 ,  高杰 ,  崔焱 ,  柳星普

IPC分类号： G01C19/5747 ,  G01C19/5726

摘要： 本发明涉及陀螺仪技术领域，公开一种面外检测四质量块MEMS陀螺仪及其电路调理方法,包括基底和四个象限单元，四个象限单元对称分布且均设在基底上，每个象限单元均包括驱动组件、解耦组件、敏感组件及耦合组件，驱动组件包括驱动电极和驱动质量块，解耦组件包括哥式耦合质量块和敏感解耦梁，哥式耦合质量块与驱动质量块通过敏感解耦梁相连，敏感组件包括敏感质量块和敏感上极板，敏感质量块分别和与其正对的基底和敏感上极板形成双电容的敏感双电极，耦合组件将不同象限单元的驱动质量块、哥式耦合质量块及敏感质量块耦合连接。本发明公开的面外检测四质量块MEMS陀螺仪鲁棒性更大、零偏稳定性更好且易于加工。