一种厚干膜图形转移工艺
摘要:
本发明公开的一种厚干膜图形转移工艺,包括S1、基板进行前处理;S2、对基板两侧的铜层贴敷多段式厚干膜;S3、对经步骤S2处理的基板进行静置;S4、光学点抓取对位;S5、采用不同波长的光源依次对各层干膜进行曝光;S6、曝光结束后,进行静置;S7、显影,得到转移的图形;本发明采用多段式厚干膜,仅需要一次贴敷厚干膜,一次光学点抓取,配合不同波长光源多次曝光的方法,减小传统工艺下多次取放板贴敷而造成每次曝光之间的位置偏差,此工艺省略多次贴膜工艺,提升了产品生产效率。
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