发明公开
CN118348746A 一种厚干膜图形转移工艺
审中-实审
- 专利标题: 一种厚干膜图形转移工艺
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申请号: CN202410444556.3申请日: 2024-04-15
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公开(公告)号: CN118348746A公开(公告)日: 2024-07-16
- 发明人: 陆云鹏 , 石林国 , 郑忠鑫 , 蓝建明 , 袁琛 , 柯雪丽 , 孙明海 , 廖君
- 申请人: 衢州顺络电路板有限公司
- 申请人地址: 浙江省衢州市绿色产业集聚区百灵中路1号
- 专利权人: 衢州顺络电路板有限公司
- 当前专利权人: 衢州顺络电路板有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省衢州市绿色产业集聚区百灵中路1号
- 代理机构: 衢州政通专利代理事务所
- 代理商 吉前正
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20 ; H05K3/02 ; H05K3/06
摘要:
本发明公开的一种厚干膜图形转移工艺,包括S1、基板进行前处理;S2、对基板两侧的铜层贴敷多段式厚干膜;S3、对经步骤S2处理的基板进行静置;S4、光学点抓取对位;S5、采用不同波长的光源依次对各层干膜进行曝光;S6、曝光结束后,进行静置;S7、显影,得到转移的图形;本发明采用多段式厚干膜,仅需要一次贴敷厚干膜,一次光学点抓取,配合不同波长光源多次曝光的方法,减小传统工艺下多次取放板贴敷而造成每次曝光之间的位置偏差,此工艺省略多次贴膜工艺,提升了产品生产效率。
IPC分类: