连续加料式碳化硅晶体生长装置
摘要:
本发明属于碳化硅晶体生长技术领域,具体的说是连续加料式碳化硅晶体生长装置,包括储料箱,储料箱下方设置有加料机构,加料机构一侧设置有第二保温箱,第二保温箱内设置有长晶坩埚,长晶坩埚内顶部设置有用于安装碳化硅籽晶的籽晶托台,加料机构包括第一保温箱,第一保温箱位于储料箱下方,固定安装在第一保温箱内的加料坩埚,第一阀门,第一阀门上端固定连接储料箱的下端口,本装置为双坩埚设置,使原料的升华分解与凝结晶体能够同时进行,原料在加料坩埚内提前被升华分解为多种气相成分,使进入到长晶坩埚内的多种气相成分可以直接进行凝结晶体,不仅提高了原料的补充效率,同时节约了大量时间,提高了碳化硅晶体生长效率。
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