基于芯片封装体的应力检测结构、方法及其集成方法
摘要:
本公开提供了一种基于芯片封装体的应力检测结构、方法及其集成方法,可以应用于工业电子封装技术领域。该结构包括:芯片封装体,包括:芯片;钝化层,贴合于芯片上表面,用于保护芯片;电气绝缘层,覆盖芯片和钝化层多个重布线层,分别位于芯片上方,且堆叠于电气绝缘层内;焊球,位于电气绝缘层上表面;应变片,位于钝化层与电气绝缘层的结合位置或多个重布线层之间,其中,应变片受芯片封装体内部的应力作用而产生形变,且应变片的阻值随形变而变化;惠斯通桥电路,通过焊球与芯片封装体实现电连接,其中,应变片构成惠斯通桥电路的一个桥臂,用于根据应变片的阻值的变化来检测应变片所在位置的应力。
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