发明公开
- 专利标题: 基于芯片封装体的应力检测结构、方法及其集成方法
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申请号: CN202410669045.1申请日: 2024-05-28
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公开(公告)号: CN118424521A公开(公告)日: 2024-08-02
- 发明人: 张杰 , 苏梅英 , 李君 , 王启东 , 曹立强
- 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 申请人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
- 专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 郭梦雅
- 主分类号: G01L1/22
- IPC分类号: G01L1/22 ; G01R31/28
摘要:
本公开提供了一种基于芯片封装体的应力检测结构、方法及其集成方法,可以应用于工业电子封装技术领域。该结构包括:芯片封装体,包括:芯片;钝化层,贴合于芯片上表面,用于保护芯片;电气绝缘层,覆盖芯片和钝化层多个重布线层,分别位于芯片上方,且堆叠于电气绝缘层内;焊球,位于电气绝缘层上表面;应变片,位于钝化层与电气绝缘层的结合位置或多个重布线层之间,其中,应变片受芯片封装体内部的应力作用而产生形变,且应变片的阻值随形变而变化;惠斯通桥电路,通过焊球与芯片封装体实现电连接,其中,应变片构成惠斯通桥电路的一个桥臂,用于根据应变片的阻值的变化来检测应变片所在位置的应力。