发明公开
- 专利标题： 一种体声波谐振器及其制备方法
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申请号： CN202410578296.9申请日： 2024-05-10
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公开(公告)号： CN118432572A公开(公告)日： 2024-08-02
- 发明人: 林炳辉 , 蔡耀 , 邹杨 , 周杰 , 高超 , 孙博文 , 孙成亮
- 申请人： 武汉敏声新技术有限公司
- 申请人地址： 湖北省武汉市东湖新技术开发区花城大道9号武汉软件新城三期D7栋4层01号
- 专利权人： 武汉敏声新技术有限公司
- 当前专利权人： 武汉敏声新技术有限公司
- 当前专利权人地址： 湖北省武汉市东湖新技术开发区花城大道9号武汉软件新城三期D7栋4层01号
- 代理机构： 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司
- 代理商 崔熠
- 主分类号： H03H9/17
- IPC分类号： H03H9/17 ; H03H9/02 ; H03H3/02 ; H03H9/56 ; H03H9/58
摘要：
本申请提供一种体声波谐振器及其制备方法，涉及谐振器技术领域，通过在方法中融入第一衬底以及单晶薄膜层，并且使得单晶薄膜层作为压电堆叠膜层的生长表面，进而借助单晶薄膜层的特性，在单晶薄膜层上形成压电堆叠膜层时，获得高质量的准单晶压电层，进而将其应用到器件中，有效提高体声波谐振器的性能。
IPC分类:
