本发明公开了一种用于光学元件表面颗粒的去除装置，包括吸附系统、显微系统以及位置调节系统。本发明还提供一种用于光学元件表面颗粒的去除方法，位置调节系统带动吸附系统移动至靠近光学元件表面的微米颗粒处；声波发生器发出的声波振动能够减弱光学元件对表面微米级颗粒的吸附力，并使光学元件表面的微米颗粒聚集，在负压吸附器的负压作用下，聚集的颗粒由负压吸附器的吸附口被吸入负压吸附器的内腔，并由吸附管排出；利用显微系统观测光学元件表面的颗粒是否被去除。本发明采用非接触无损处理方式对光学元件表面微米颗粒进行去除，处理效果好，无二次污染产生，且对环境空间无要求，便携性好，处理效率高。