本发明提供了一种碳化硅晶体notch槽加工设备及方法，属于碳化硅生产领域，通过先采用砂轮加工装置对碳化硅晶体进行粗加工，以在碳化硅晶体上形成过渡槽，再通过超声波加工装置在过渡槽的基础上进行精加工，将过渡槽扩大形成notch槽。先砂轮加工后超声波加工的目的在于，砂轮加工相对超声波加工成本低廉，先用砂轮加工出过渡槽，可以有效减少后续超声波加工的切削量，从而减缓超声波加工装置的刀具磨损速率，降低超声波加工装置的维护成本，超声波加工对晶体产生的热损伤远小于砂轮，在砂轮加工过程中晶体受到热损伤的部位，后续会被超声波加工装置去除，如此即可兼顾加工成本和晶体质量。