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CN118483878A 极紫外光收集装置和系统
审中-实审
摘要：
本发明提供一种极紫外光收集装置和系统，极紫外光收集装置，包括：球面反射镜组，包括多个球面反射镜，所述球面反射镜组中的每个球面反射镜收集一部分极紫外光源射出的极紫外光线；多个反射镜架，所述球面反射镜固定于所述反射镜架上；驱动机构，所述驱动机构驱动所述反射镜架至指定位置和角度，使得每个所述球面反射镜收集的极紫外光线汇聚于同一个像点处。本发明可以在大幅降低收集用光学元件成本的同时，实现较高的极紫外光收集效率。
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