公开(公告)号：CN117848558A

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN202410033100.8

申请日：2024-01-09

申请人： 上海大学

发明人： 张建华 ,  周陈昊 ,  凌晓 ,  辛涵申 ,  李浩源

IPC分类号： G01L1/24 ,  G01L5/00

摘要： 本发明提供一种基于多光束杠杆的薄膜应力测量方法和系统，包括：利用多光束杠杆设计，获得光斑阵列的原始图像；从所述原始图像中采集光斑中心点；基于光斑中心点，获得基底和薄膜的曲率，求得最终薄膜应力。本发明利用多光束杠杆法对样品曲率进行测量，操作便捷，且当曲率变化幅度不大情况下，仍可以通过光路的细微偏转来获得较为精确的结果。本发明采用改进Canny边缘检测方法，将高斯滤波替换为双边滤波，更好消除噪声，同时增加45°和135°方向上的梯度幅值计算，更加精确地提取图像的边缘信息；利用椭圆拟合结合曲率公式和Stoney公式，精准地求得薄膜的残余应力。

公开(公告)号：CN118033991A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202410362653.8

申请日：2024-03-28

申请人： 上海大学

发明人： 张建华 ,  肖皓轩 ,  凌晓 ,  辛涵申 ,  李浩源

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 本发明公开了一种基于DPP光源的曝光装置和方法，包括：DPP光源、锆膜、多层膜反射镜和线性光栅，其中：DPP光源用于产生EUV光；锆膜过滤所述DPP光源产生的EUV光；所述多层膜反射镜收集所述DPP光源输出的EUV光，进行反射后垂直入射到所述线性光栅上；垂直入射的EUV光经所述线性光栅发生干涉，并达到待曝光的光刻胶，其中，EUV光在光刻胶平面上的强度分布为三角形分布，强度随位置的变化呈线性。本发明能够通过控制曝光剂量来形成小特征的图案，通过控制曝光计量可以得到特征尺寸25纳米以下的周期性图案，优化光刻胶材料有望实现更小的曝光线宽。

公开(公告)号：CN118002555A

公开(公告)日：2024-05-10

申请号：CN202410093397.7

申请日：2024-01-23

申请人： 上海大学

发明人： 张建华 ,  郑佳乐 ,  凌晓 ,  辛涵申 ,  李浩源

IPC分类号： B08B5/02 ,  B08B7/00 ,  B08B13/00 ,  G03F7/20

摘要： 本发明提供一种用于Z箍缩放电等离子体源的碎屑清除装置及其应用，包括：机械碰撞部，所述机械碰撞部通过碰撞阻扰高、低能量碎屑以及电荷中性碎屑的运动，降低碎屑的射程；气体吹扫部，所述气体吹扫部利用气体分子撞击碎屑并改变其运动轨迹，进行碎屑清除；箔片过滤部，箔片过滤部，所述箔片过滤部进行带外滤光，兼具碎屑过滤作用。本发明采用多种清除机制，在保证极紫外光带内通量的前提下具有良好的碎屑清除与带外滤光性能，保护Mo/Si多涂层收集镜，以满足Z箍缩放电等离子体源功率与转化效率不断提高、曝光时间不断减少的要求。

公开(公告)号：CN118734664A

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202410799313.1

申请日：2024-06-20

申请人： 上海大学

发明人： 张建华 ,  周陈昊 ,  凌晓 ,  郑佳乐 ,  肖皓轩 ,  郭坤伟

IPC分类号： G06F30/25 ,  G06F17/10

摘要： 本公开提供一种基于辐射碰撞模型的氙等离子体电子温度确定方法，包括：确定稳态近似状态的原子能级的速率方程；确定Z箍缩聚变中氙等离子体中占据主导地位的粒子反应类型；根据氙等离子体中占据主导地位的粒子反应类型和稳态近似状态的原子能级的速率方程，确定氙等离子体的速率平衡方程；确定相邻能级的布居密度比；根据相邻能级的布居密度比，确定简化的氙等离子体的速率平衡方程；确定谱线强度比值；根据简化的氙等离子体的速率平衡方程、谱线强度比值以及预设的Boltzmann方程，确定氙等离子体电子温度。通过本公开，采用相对光强线比法简便的计算Z箍缩条件下氙等离子体的电子温度，减少数据处理量，并提高数据准确率。

公开(公告)号：CN118483878A

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN202410677043.7

申请日：2024-05-29

申请人： 上海大学

发明人： 凌晓 ,  闫腾飞 ,  肖皓轩 ,  张建华

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 本发明提供一种极紫外光收集装置和系统，极紫外光收集装置，包括：球面反射镜组，包括多个球面反射镜，所述球面反射镜组中的每个球面反射镜收集一部分极紫外光源射出的极紫外光线；多个反射镜架，所述球面反射镜固定于所述反射镜架上；驱动机构，所述驱动机构驱动所述反射镜架至指定位置和角度，使得每个所述球面反射镜收集的极紫外光线汇聚于同一个像点处。本发明可以在大幅降低收集用光学元件成本的同时，实现较高的极紫外光收集效率。

公开(公告)号：CN118641029A

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN202410869351.X

申请日：2024-07-01

申请人： 上海大学

发明人： 张建华 ,  郑佳乐 ,  凌晓 ,  周陈昊 ,  肖皓轩

IPC分类号： G01J1/42 ,  G01J1/44 ,  G01J1/04 ,  G01M11/02

摘要： 本发明提供一种放电等离子型极紫外光源功率的测量装置及测量方法，所述装置包括：滤光片，用于对DPP型光源出光进行带外滤光，形成滤光后的光束，其位于第一真空腔体与第二真空腔体之间；反射镜，位于第二真空腔体内，用于对滤光后的光束进行带内滤光，形成带内极紫外光束；极紫外光电二极管，用于将带内极紫外光束的光信号转变为电流信号；计算模块，用于根据电流信号和极紫外光电二极管的电流‑功率响应曲线，得到特定立体角下DPP型光源的带内极紫外光功率；并根据特定立体角下DPP型光源的极紫外光功率，得到DPP型光源的极紫外光功率。本发明的装置结构简单，易于搭建实验平台，能够准确、快速地测得DPP型光源的极紫外光功率。