本发明涉及化学机械抛光技术领域，公开了用于化学机械抛光设备的水平检测装置及方法；水平检测装置包括第一滑轨、第一滑块及第一光学尺，第一滑轨设置于第一清洗刷驱动设备上，第一滑块滑动连接于第一滑轨上，第一滑块背离第一滑轨的一侧设置有第一光学尺，第一光学尺用于在第一测量点测量第一光学尺到晶圆表面的第一距离值，以及用于在第二测量点测量第一光学尺到晶圆表面的第二距离值；第一距离值和第二距离值的差值用于表征第一清洗刷驱动设备与晶圆的相对水平程度。本发明可灵活应用于现有的化学机械抛光设备，水平检测结果更加精准。