发明公开
摘要:
本发明属于高温传感技术领域,具体涉及一种基于双谐振腔的耐高温光纤声振集成传感器及其制备方法,包括依次设置的基底层、敏感层、刻槽层;所述敏感层一端刻蚀有通孔以形成悬臂梁‑质量块结构的敏感膜片,所述基底层和刻槽层上与所述敏感膜片对应位置分别设置有第一沉槽和第二沉槽;所述刻槽层上与所述敏感膜片中心对应位置设置有第一光纤;所述第一光纤端面与所述敏感膜片形成第一谐振腔;所述刻槽层上设置有贯穿至刻槽层两侧的贯穿槽,所述刻槽层上与所述贯穿槽中心对应设置有第二光纤;所述第二光纤与所述敏感层形成第二谐振腔。本发明实现了对噪声和振动信号的同步监测,结构简单,尺寸小、测量精度高,可以应用于高温环境。