- 专利标题: 方形双不对称元胞结构UMOSFET及制备方法
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申请号: CN202411020660.6申请日: 2024-07-29
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公开(公告)号: CN118553794B公开(公告)日: 2024-10-11
- 发明人: 汤晓燕 , 张一博 , 宋庆文 , 袁昊 , 杜丰羽 , 周瑜 , 张玉明
- 申请人: 西安电子科技大学
- 申请人地址: 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
- 专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
- 代理机构: 西安嘉思特知识产权代理事务所
- 代理商 王海栋
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L29/06 ; H01L21/336
摘要:
本发明涉及一种方形双不对称元胞结构UMOSFET及制备方法,该UMOSFET包括:SiC衬底;外延N‑漂移区设置在SiC衬底的上表面;P阱区设置在外延N‑漂移区的上表面;N+区设置在P阱区的上表面;P+阱区从N+区的上表面向下延伸贯穿N+区和P阱区,P+阱区对N+区和P阱区形成包围结构;沟槽栅结构包括沟槽以及设置沟槽内的栅极部分,沟槽在N+区的相邻两侧面与P+阱区的相接位置从上表面向下延伸;源极设置在N+区和P+阱区的上表面;漏极设置在SiC衬底的下表面。本发明能够有效地降低器件的比导通电阻,同时没有增加额外的芯片面积。
公开/授权文献
- CN118553794A 方形双不对称元胞结构UMOSFET及制备方法 公开/授权日:2024-08-27
IPC分类: